希尔金刚线切割液是一款水基型线切割液,具有优异的润滑、快速冷却、防腐、防锈、氢气抑制功能,能有效防止切割过程中的脆性崩裂、划痕明显、断线等现场的产生,降低硅片表面粗糙度,使用时不仅泡沫低,润湿快,硅粉分散性好,还具有硅片线痕少,切割微粉沉降快,碎片比例低,排片易清洗,没有残留等优点,大大提升良率。
应用领域:适用于各种金刚石、半导体、晶圆、芯片、硅片、蓝宝石、陶瓷的金刚石线切割加工过程的润滑冷却。
139-2572-1791
√ 低泡,渗透和分散性好,表面张力小,表面平衡性好
√ 有效防止切割过程中脆性崩裂、划痕明显、断线现象
√ 硅片表面粗糙度低,硅片总厚度偏差(TTV)降最低
√ 能瞬间带走切割产生的热量,加快切割微粉下沉速度
√ 切割后的硅片容易清洗,无残留不腐蚀金刚线与设备
低泡 易清洗 无残留 切割不良率低
外观 | 无色至微黄色液体 | 安全 | 不可燃,无腐蚀,易清洗 |
pH | 5-7(工作液) | 环保 | 不含卤素,符合欧盟RoHS要求 |
使用时,1公斤单组分切割液,根据不同机器及工艺要求,兑水300-350L使用。
按比例稀释成工作液后,加入线切割设备加工液槽后使用。
1、根据使用情况定期补加原液;
2、长时间使用后,效能下降或失效时,及时更换槽液;
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